二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9235810 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是光刻工艺中使用的光刻设备。它允许将实现的电路模式精确、高效地传输到半导体晶圆上。该系统支持光学步进器和投影仪、开发系统以及曝光后烤箱。它具有边缘曝光能力、双波长曝光、基板自动冷却和先进的膜流技术。TEL Lithius i+单元采用先进的光电子技术，包括精确的激光光源、高精度的光学定位器组件和脉冲光掩模仪器。光源用于将复杂而精确的图样投射到半导体晶圆上，然后精确地暴露在不同的曝光时间。曝光后的烘烤烤箱确保了曝光图样的安全传递,并且自动基板冷却可确保防止曝光过程中的任何温度变化。TOKYO ELECTRON Lithius i+光刻机还具有先进的薄膜流动技术。这项技术提供精确控制的参数和配方，图桉特征是可调的。该工具还提供流程优化，或者集成到资产中，或者作为一个单独的离线流程。此外,Lithius i+光刻胶模型的边缘曝光能力确保了图样的曝光形状和保持其最佳方向,从而确保了准确的迭加性能。此外，该设备具有双波长曝光，使其能够支持不同波长的不同光掩模。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+光刻胶系统是光刻过程中的一个宝贵工具，导致了精确高效的实现电路模式。它是一种经济高效、坚固耐用的光刻解决方桉,可提供精确和高性能的结果,同时易于维护和使用。