二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9283131 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i是一种最先进的光刻设备，设计用于制造先进的精密结构和元件。该系统利用一种液态光致抗蚀剂，将其涂抹在基板上，并暴露在紫外线下，从而在抗蚀剂材料中形成图样。然后可以开发和蚀刻暴露的区域,留下所需的模式.该设备配备了一系列高级功能，旨在确保高可靠性性能和效率。首先，该单元包含一个自动抗蚀剂涂层模块，在基板上提供一层均匀的光致抗蚀剂。它配有精密的遮罩对准器，能够精确定位各种遮罩，可用于不同强度的曝光。此外,该机还具有一个集成检测模块,该模块使用照相机验证光刻胶图样,以及一个集成显影器端口,可用于快速清洁和剥离剩余的抗蚀剂。TEL Lithius i的另一个关键特点是其先进的紫外线（UV）光源。这种高功率源确保光刻胶图桉在整个过程中得到一致的发展。该装置还配备了热控制模块，使基板的温度控制能够减少温度引起的误差。由于其高品质的性能，TOKYO ELECTRON Lithius i成为了那些希望制造先进精密结构和元件的人的黄金标准。而且，与其他类型的光刻胶系统相比，其生产成本相对较低，使其成为具有预算意识的行业的一个有吸引力的解决方桉。所有这些功能使Lithius i成为各种应用的理想选择。