二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9283134 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i是用于替代传统光刻工艺的光刻设备。它可用于创建高长宽比结构,低至低于1：1。该系统由曝光头、石英板和光刻胶处理器组成。曝光头使用UV-Visible光来进行光刻过程。这一单元优越的精度，高对比度，和高水平的反射率，它提供首选。对于用于IC/COS和晶圆级封装的光刻等应用，曝光头简单地放在光刻处理器的顶部，然后通过自动化链接到石英板。然后，光致抗蚀剂处理器将所需的材料提供给石英板，并根据所需的图样将其曝光。曝光头还利用先进的光学聚焦机，这有助于提供均匀的强度分布以获得最佳结果。一旦所需的图样在光致抗蚀剂材料上曝光，它就会被转移到底层基板上。为确保这种材料不粘在石英板上，头部采用软触摸接触技术。这减少了对光刻材料的应力，这有助于防止在转移过程中形成任何不希望的峰或阴影。TEL Lithius i还提供了其他几个优势。它有一个内置的清洁工具，允许最小的交叉污染和提供卓越的打印效果。此外，它具有较低的光致抗蚀剂消耗，以较低的成本提供最大可能的曝光结果。与传统光刻相比，TOKYO ELECTRON Lithius i资产提供了更快的速度和自动化技术。其独特的功能使它能够产生产量、准确性、可重复性和耐用性提高的结构。所有这些操作效率使这种光刻胶模型成为当今最通用、最具成本效益的工艺之一。