二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9361961 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i是一种高精度、先进的光刻胶设备,用于光刻胶材料的沉积。该系统用于将光敏材料应用于晶片基板的半导体制造过程中。该单元集成了包括光刻在内的尖端精密技术,以实现光刻胶的精确图样化。TEL Lithius i采用精确对准和精确扫描运动以及精确剂量控制。这有助于机器制作适合下一代半导体器件使用的高分辨率图样。该工具还提供了高图像赢得精度以及可靠的精细图样控制,以实现卓越的性能。TOKYO ELECTRON Lithius i配备了最新的应用控制软件,确保高吞吐量和改进的设计能力。这样可以确保获得的结果质量最高。此外,Lithius i还提供方便用户的操作,从而提高了生产效率并降低了成本。该资产提供了多种组件,有助于确保光刻胶应用模型的准确性和可靠性。这些组件包括精确控制机构、曝光剂量监控器和运动控制模块。设备提供的其他功能包括全摄像头模块、自动曝光模式、光学定位和双光束对准系统。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i还具有多重对准和配位校正功能,有助于确保以准确和精确的方式应用光刻胶。这样可以在晶片上构建IC时提高精度。该设备还具有高级数据记录功能,有助于准确记录每次操作期间使用的光刻胶参数。总之,TEL Lithius i是一种先进的光刻机,为用户在集成电路(IC)晶片基板上沉积光刻材料提供了一种有效可靠的解决方桉。该工具具有先进的光刻精密技术、精确跟踪和对准控制、图像获得精确度以及完整的相机模块。因此,用户可以对自己的光阻应用过程充满信心。
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