二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9384058 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一款先进的光刻设备，专为跨越光刻领域的应用而设计。它为各种微加工工艺提供了高精度晶片图样操作的最佳性能。该系统提供自动化的基板管理、精密的抗涂层和暴露、快速发展和清洁控制。TEL Lithius i+为微图案操作提供了极高的精度。其特点是具有顶级精度和可重复性的高精度激光头，自动化基板放置的先进切片装置，以及能处理广泛抗性的抗性涂层机。此外，该工具还内置了一个采样器，用于高精度验证暴露模式和曝光后烘烤（PEB）。TOKYO ELECTRON LITHIUS i+通过允许光刻胶的精确、高速的开发，加上一个特殊的基板清洁单元来防止残留粒子附着在基板上，从而实现更快的光刻工艺。此外，该资产可以精确地测量和控制抗蚀剂的浓度和化学抗蚀剂的分配。Lithius i+具有各种先进的安全功能，包括过电流传感器、辐射监视器和软件控制的联锁。它还具有方便用户的界面和自定义功能,可以轻松监控、管理和调整操作。此外，该模型还配备了实时数据采集和分析设备，能够快速、方便地反馈到生产过程中。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一种先进的光刻系统，在高精度晶片图样操作中提供最佳性能。它具有先进的基板管理、快速的加工和对抗性浓度和分配的精确控制.此外,该单元还配备了用户友好的界面、内置的安全功能和定制功能,使其非常适合各个领域的各种生产流程。