二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9391713 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是用于光刻的光刻设备，是制造半导体、微处理器和数字显示器的关键技术。它通过生产设计的高保真二维掩码来工作，然后将其转移到硅或其他材料晶片上。TEL Lithius i+采用了独特的三重曝光技术，结合了先进的光掩模创建、精确对准和高精度的终端工艺，以生产具有卓越边缘敏锐度和良好线宽和轮廓的优越结构。该系统将光敏材料应用于胶片或印版,用于印刷和制造元件。同时，它提供对紫外线或电子流等辐射源的暴露，以所需的模式去除和/或形成目标材料。TOKYO ELECTRON Lithius i+独特的三曝光技术允许灵活地在晶圆或基板上以最小的失真创建复杂程度不同的结构。它还会导致很小程度的错位,从而允许精确的线宽,且几乎没有舍入。Lithius i+还具有先进的定位和精细测量技术以及低压曝光,这有助于提高从一个过程到下一个过程结果的一致性。此外,每次拍摄的周期成本相对较低,既经济又方便地用于小型和大型工艺。该单元还利用专有软件算法在曝光过程中实现高精度投影对齐。这允许高度精确地将图样转移到目标基板上。用户友好的控制环境提供实时性能反馈和结果,以监控应用程序进程的进度和质量。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一台先进的光刻机，为需要高分辨率和精确度的制图工艺提供可靠的平台。它结合了高分辨率沉积技术、最先进的对齐系统和先进的软件,使其成为高精度和低成本制造标准合规性都至关重要的应用程序的理想选择。