二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9407206 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是用于先进半导体器件光刻工艺的下一代光刻设备。它具有先进的成像性能,以及更高的生产率和更高的产率。TEL Lithius i+为前端和后端工艺提供了先进的成像系统，它允许0.3um最小线宽的晶片进行高分辨率阵列化。它配备了一个全自动对准单元，可以快速、精确地工作，并且可以同时处理多达4个晶片。该机还具有先进的运动和温度控制系统，在光刻过程中实现了平稳、连续的流动。TOKYO ELECTRON Lithius i+中使用的光刻胶被设计为在光刻过程中提供改进的性能，并允许创建较小的特征。该工具还可以检测和纠正光刻过程中的任何潜在误差，从而提高产量和提高生产率。该资产配备了先进的热控制，允许晶片的稳定处理，无论其大小和复杂性如何。其先进的光学模型允许在分子水平上进行精确的分辨率和对比度操作。设备的高级自动化级别确保了从对齐到曝光的快速、准确的操作。该系统包括光学和激光对准工具，以确保晶圆位置准确，最大分辨率。其内部监测系统可以检测到杂质引起的任何像差，对结果的准确性提供了高度的信心。该单元产生的数据还可用于生成自动化过程控制报告，这些报告为提高光刻工艺的准确性和产量提供了宝贵的数据。最后，该机与多种其他系统兼容，提供无缝集成，方便使用。