二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #293759416 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I是一款先进的光刻设备,具有四室平台、专有的HEPTACHEM™湿显影化学和集成的高分辨率掩模对齐器。光致抗蚀剂系统能够以最高的精度和最小的清理要求处理半导体晶片。TEL Lithius Pro-I是一个全自动单元，具有四室平台，可同时处理多个晶片，为大容量晶片生产提供最佳吞吐量。它具有板载ASML EBR控制机、确保均匀性和可重复处理操作的热室、用于清洁晶圆的静电扬声器以及连接液体处理和排气系统以尽量减少对环境的影响。光致抗蚀剂工具中使用的HEPTACHEM湿显影剂化学可以确保光致抗蚀剂的均匀和可重复的涂层工艺以及准确和一致的涂层。它还消除了在施用前溶解化学物质中的光致抗蚀剂的任何需要。独特的HEPTACHEM化学提供一致的结果，无论晶圆表面质量和薄膜厚度。TOKYO ELECTRON LITHIUS PRO I资产中集成的高分辨率掩模Aligner提供了光掩模与晶圆表面高度精确的对准。然后,可以准确、一致地对蒙面晶片进行预处理,以进一步确保产品质量。四室平台、HEPTACHEM™湿显影化学、集成高分辨率掩模Aligner的结合，让wafort厂商利用先进的光刻胶模式，以最少的浪费和快速的速度制作出高品质的产品。该设备是需要精确过程控制和可重复结果的半导体研究和制造应用的绝佳选择。