二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #293815848 待售
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ID: 293815848
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Coater / Developer system, 12"
(5) Front Opening Unified Pods (FOUP)
(7) PRA / CRA / IRAI / PRAI
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I是为先进光刻工艺而设计的光刻设备。它能够实现高度精确的光阻性能分析,满足50纳米以下特性和高级节点半导体制造的迫切需求。该系统具有4x8"标准的高吞吐量，超高分辨率支持广泛的先进光刻胶，多波长成像选项支持不同光学特性的基板。Pro-I单元提供了一系列工艺能力和先进的成像技术,以满足领先铸造厂的需求。它具有超高线性、动态运动和对准校正、出色的非均匀性、动态聚焦调节以及无事先校准的精确迭加等特点。它还支持具有柔性轨道的自动基板处理，能够处理具有多层的光刻胶和其他材料。凭借其先进的干涉测量能力，它可以在保持最高精度的同时将掩模精确对准基板。此外,它的内置像差校正通过单独定制的补偿器集合,确保轮廓精度和高分辨率成像。Pro-I还具有一系列软件和硬件选项。自动化功能、软件模型和用户界面允许用户根据需要自定义工具。它还支持先进的技术，如大剂量OAD，使特征打印超出0.3微米尺寸限制，电子束光刻，用于详细的微机械化。此外,Pro-I还与其他TEL流程（如Aligner系列）集成,以方便无缝设置和轻松的机器操作。利用集成的图像分析和自动曝光，可以准确识别和传输处理前后的光掩模。它还具有强大的python执行环境和用于自动工作流的后处理软件。TEL Lithius Pro-I是具有高级要求的半导体制造商的理想解决方桉。它以高精度支持复杂的光刻过程,同时提供一系列可定制的自动化和软件工具。
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