二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #9296908 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I是一款光刻设备，设计用于提供光刻成像、胶片显影，以及广泛的基板表面清洁。它非常适合制造集成电路、MEMS、数据存储和其他精密微电子器件。Pro-I由三大系统组成：主系统、气箱和表面清洁单元。主机包含紫外线（UV）光源、用于成像的步进/扫描仪以及用于基板处理的真空级。它还提供曝光脉冲、聚焦同步和滤波器选择。燃气箱为光刻烘烤、预冷、蚀刻和后冷提供了必要的气体。表面清洁工具提供无刷、基于等离子体的清洁过程。Pro-I能够成像到25毫米。其聚焦资产的设计目的是保持<± 1.0 μ m的分辨率和16MHz的吞吐量。它可以加工厚度高达0.5m的基板。Pro-I的UV光源可用于绘制小至0.5 μ m的图样,最大层厚度可达1.5 μ m。Pro-I还提供可选功能,包括自动变速箱控制（ATC）、波形发生器、介电感知器加热以及一系列用于不同紫外线波长的曝光头。它有一个化学处理模型，减少危险材料的使用量和回收化学品再利用。它还提供了一个高级晶圆颠簸选项来支持各种类型的颠簸。Pro-I是一款完全可配置、坚固可靠的设备,旨在满足最高的光刻成像和清洁标准。它易于使用，并提供优异的产量、可重复性和高度自动化。它是在各种基板上制造各种微电子器件的可靠、经济高效的工具。