二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #9375191 待售
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ID: 9375191
System
(5) Load ports
(2) WEE Units
(7) TRS Units
(10) CPL Units
(2) SCPL Units
(3) Chemical boxes
AC Power box
(2) MELCON THC
Drive arm:
CRV
(4) PRA
MPRA
PRAI
IRAI
Oven unit:
(3) ADH, 50°C - 180°C
(16) CGHA, 50°C - 250°C
(5) CPHP, 50°C - 180°C
(7) CSWP, 50°C - 180°C
Spin unit:
(3) COT, (6) Nozzles, CRD Pump
(3) BCT, (4) Nozzles, CRD Pump
(3) ITC, (3) Nozzles, CRD Pump
(6) DEV, General pump nozzle
(2) PIR.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I是一款设计用于复杂印刷电路板通孔处理的高性能光刻设备。该系统采用高分辨率光学和散光控制相结合,确保了准确的层沉积和最高水平的器件图样。Pro-I单元能够生产任何东西,从两层到多层板,并带有任意数量的通风孔和其他组件。该机由具有集成UV光源的石板和电镀头以及精密传送带和机器人操控模式组成。头部可以在板上左右移动或上下移动,以准确定位暴露区域,达到更高的精度。该工具还具有自动数据采集、手动/自动操作和扫描成像功能,可快速准确地评估模式。该光刻资产采用一对一光刻/电镀工艺,以达到精度和速度。一种光敏聚酰亚胺抗蚀剂与光敏显影剂溷合,组合受到集成照明器产生的紫外线照射。当电路板通过头部下方时,光掩模图桉会转移到电路板的裸露区域。然后将暴露的区域镀上镍、铜、银或金,以形成所需图样的痕迹。该型号的设计不仅提供卓越的吞吐量性能,而且还具有灵活性,以适应各种尺寸和形状的印刷电路板。此外,TEL Lithius Pro-I还具有高级安全功能,可确保只有那些镀金的元件符合指定的尺寸要求。为确保光刻胶设备以最高效率运行,TOKYO ELECTRON LITHIUS PRO I配备了一个集成的自动诊断系统,该系统可评估每个组件的功能,并可以诊断和提醒操作员任何潜在问题。该单元具有很高的可扩展性,并提供出色的性价比。总体而言,LITHIUS PRO I是一款出色的光刻机,可在多层板上以最少的浪费创建高精度的图样。它的高分辨率光学、散光控制和自动化过程为用户提供了准确和可重复的结果。该工具的高级安全功能有助于确保组件的对齐,并降低故障检测的风险。
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