二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i #293603567 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i是一款针对最高精密光刻需求而设计的尖端光刻设备。光致抗蚀剂系统对于半导体工业来说非常重要，因为它们允许将特征蚀刻到各种材料中。TEL Lithius Pro V-i使用项目曝光从捐赠的蒙版创建模式。这是使用模式发生器完成的,该发生器使用革命性的光栅光阀（GLV）技术,在这些40纳米管线中,在12.0 mJ/cm2的曝光剂量下,每纳米分辨率可达到8.5。另外，ProV-i利用可变数值孔径（VNA）控制和局部相干照明系统的相干控制来实现最佳的迭加精度。Pro V-i还提供了更高的曝光精度,最大可± 1 nm的聚焦监控和± 1 mJ/cm2剂量的测量。此外,Pro V-i还支持多种工艺,如灰化、清洁和烘烤抗蚀剂材料。该设备还提供对扫描机、曝光工具和机械手的全功率过载保护,确保设备不会因浪涌而损坏。Pro V-i还具有一系列附加功能,如高级控制电子设备,可提供可定制警报、安全参数和数据归档等功能,以及用于提高资产自动化程度的大量接口。最后,Pro V-i包括一个自动对焦控制接口（可提高对焦精确度）,以及一组可拆卸的蒙版工作台（可拆卸两次曝光之间的蒙版）。总体而言,TOKYO ELECTRON LITHIUS PRO VI是一款非常先进的光刻模型,专为满足最精确的光刻需求而设计。其多种特性和用户友好的设计使其成为一种用途广泛、可靠的工具，使其成为现代半导体行业的理想选择。