二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V #293823961 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V光刻设备是备受推崇的光刻工作马，可用于制造多种电子设备。它被设计用来在涂有铬和金层的基板上精确地曝光和显影一层感光材料（光致抗蚀剂）的薄膜。该系统由电子束柱、热处理抵抗单元、对准器和掩模对准器组成。TEL Lithius Pro V的电子束柱提供高达1600电子伏特的能量范围。该机器分辨率高达3倍,能够实现0.5 μ m的小尺寸功能。该柱的先进设计实现了高通量，并确保了可靠的光刻效果。加热的抗蚀剂工具，也称为热处理，确保暴露的光致抗蚀剂保持在最大分辨率的位置。抗蚀剂在暴露于电子束前加热至200 °C，以增加对底物的粘附性。暴露后，抗蚀剂进一步加热，以确保整个基板均匀发展。在暴露和解决复杂的显微镜任务时，对齐器保证了极好的精度。开场传输对齐器能够解析低至1 μ m的特性。这使得它非常适合隧道晶体管等应用。掩模对齐器用于再现微磁盘或复杂的薄膜互连。TOKYO ELECTRON LITHIUS PROV完全自动化，兼容多种安全的工业控制器和操作系统。此外,该资产还具有广泛的用户友好界面和键盘访问权限。LITHIUS PROV具有高质量、精确度、一致性和可靠性,是全球光刻系统的首选产品之一。
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