二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V #9292955 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V是一款光刻设备，旨在为广泛的应用提供先进的光刻能力，包括微电子、半导体和晶圆制造。该系统使用高度精确的光机械单元，配有光源、透镜和自动移动级，以优化体积图桉晶片和纳米加工。与传统的步进扫描仪系统不同，TEL Lithius Pro V使用计算机控制的算法来确定晶片、透镜和光源在制图过程中的精确定位。这样可以在线宽和高度上获得极高的精确度,并且在产生有阵列的角度和粗线方面非常有效。TOKYO ELECTRON LITHIUS PROV机集成了广泛的软硬件功能，包括全面的迭加对准概念、先进的光刻模拟和控制以及高性能的图像处理引擎。该工具还包括一系列核心配件，如光源、真空室和人性化操作控制台。为确保TEL/TOKYO ELECTRON LITHIUS PROV资产的最佳性能,各种参数（如曝光能量、迭加对准精度和曝光序列）都是可调的,并通过一个复杂的过程加以控制,该过程包括集成用户友好的GUI、自动制图和高级光刻模拟。使用TEL LITHIUS PROV模型,客户可以获得提高光刻产量、缩短周期时间和提高产品质量的好处。该设备还能够自动校准对准，加速烘烤固化，加上高精度器件的精确图样，如高性能逻辑和内存器件。此外,Lithius Pro V系统的客户还可以利用较长的日光开发时间,因为一次曝光可提供特定于特定于特定位置的小型阵列。随着精度的提高，LITHIUS PROV单元也提供了高度的设计灵活性；允许客户在最复杂的设计上制作一系列光刻设计。总体而言,TOKYO ELECTRON Lithius Pro V是一款先进的光刻机,旨在为客户提供他们所需的精确度和无错误图样,以便在一小部分时间和成本内创造出高度复杂、高质量的产品。