二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293603809 待售

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ID: 293603809
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Coater / Developer system, 12" Process: ArF Dry Factory interface: (5) FOUPs CIM: ECS / GEMSECS / GEM Options: LynxOS / TEL Chiller T/H Controller Coater and developer cabinet Resist cabinet A/C Power box Handler: CRA IRAM (3) PRA 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款高性能的光刻设备,专为先进的光刻操作而设计。它利用先进的成像技术和先进的控制算法,使其能够生产出极其精确的光刻胶。利用最先进的光学和渐进自动化,该系统可以提供最先进的光刻结果。TEL Lithius Pro的集成光学单元使石版画家能够准确实现广泛的分辨率。其先进的成像算法、光学机器和自动曝光参数使其能够生产具有极精细特征和最小失真的光致抗蚀剂。此外,集成反馈工具可帮助平版画家监控和维护资产的稳定性。该模型还利用极快的控制器,从而实现高吞吐量和低延迟。TOKYO ELECTRON Lithius Pro提供对曝光参数的自动控制,包括曝光时间、像素大小和光学密度。它还为控制光刻胶提供了多种选择,例如形状和边缘定义。此设备可以配置为逐个像素地控制参数,从而实现非常精细的控制。Lithius Pro还专为便于维护和维修而设计,具有许多易于更换的组件。它提供了随时间推移监控系统性能的工具,包括嵌入式质量控制单元,可帮助快速识别和解决潜在问题。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款高品质、先进的光刻机。通过将复杂的控制系统和强大的成像技术相结合,此工具非常适合希望将其光掩模推向下一代精度和分辨率的光刻师。
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