二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293821725 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一种光刻设备,可为需要超精确成像结果的工艺工程师提供可靠、经济高效的解决方桉。该系统结合了先进的自动化技术,可在敏感的半导体应用中提供可重复的性能。TEL Lithius Pro采用符合现场要求的Bruker FXF 280 Autoimage扫描仪构建,可提供高图像分辨率和灵敏度。其先进的自动化功能使得操作和跟踪设备晶圆曝光历史变得更加容易。这台机器装有一个自动晶片处理程序，用于在加工室之间快速传输微晶片，以及一个晶片映射工具，以确保精确对准。嵌入资产中的功能强大的AIT（原子级图像跟踪器）软件使工程师能够精确监控每个运行。这一功能强大的工具可用于即时跟踪工艺特性，防止意外的晶圆曝光。自动化的双聚焦机制可确保所有基板的成像质量和可重复性一致。TOKYO ELECTRON Lithius Pro还提供实时温度监控,以方便温度临界过程。集成的高级光束控制调谐功能有助于保持高吞吐量并确保成像精度。自动曝光模式预设库还增加了灵活性,并确保工程师能够快速设置各种光刻应用程序。这种强大的模型非常适合用于各种行业，包括半导体和微电子应用。用户友好的界面使其易于使用,而高级自动化确保了精度和可重复性。对于需要可靠光刻解决方桉的工程师来说,Lithius Pro是一个绝佳的选择。