二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293827336 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款最先进的光刻设备，设计用于制造半导体器件的精密光刻蒙版。TEL Lithius Pro配备了专有的研究级氯化聚乙烯醇（PVA）光致抗蚀剂，并具有几个非常适合大学研究的先进功能。TOKYO ELECTRON Lithius Pro光刻胶系统利用了PVA光刻胶的液体形式，允许更大的设计灵活性和根据特定设计量身定制光刻胶面罩的能力。这种光致抗蚀剂装置保证每次使用都能提供一致和可靠的结果。光致抗蚀剂应用在具有编程晶片级的器件晶片上，使研究者能够精确控制曝光时间和剂量。此外,还可以调整Lithius Pro以快速扫描光刻蒙版或重复特定设计。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro的另一个显着特点是它的烘焙加工机（Bake-Processing Machine，BPS），专为图样定义的中高密度光刻而设计。这使得研究人员能够高效地制作出高分辨率的图样和胶片。BPS也有特色；具有高频控制功能的聚变热电器；自动时间和温度控制的烤盘；以及软件控制的底物。这些功能有助于快速高效地创建精细的详细光刻蒙版。最后,TEL Lithius Pro光致抗蚀剂工具具有完全监控的操作环境,为研究人员提供安全可靠的工作环境。所有光致抗蚀剂系统都配备了保护性紫外线过滤屏蔽和惰性氮气排气资产，以保护用户。该模型还包含环境传感器，用于监测流体水平和温度，以确保操作一致。综上所述，TOKYO ELECTRON Lithius Pro光刻胶设备是一种先进的研究级光刻胶系统，具有许多特点，使其成为大学光刻研究的理想选择。其PVA光敏液体提供了更大的设计灵活性；烘烤加工部保证高分辨率的图样和薄膜；其环保特点保证了安全可靠的运行。
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