二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293827599 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款用于半导体微加工工艺的光刻设备。光致抗蚀剂是一种涂层材料,用于在集成电路中对设备进行阵列设计。它由对光敏感的聚合物薄膜组成，可应用于硅片或平板显示器等基板上。当暴露在光照下，光刻胶的区域被硬化，未暴露的区域可能被化学蚀刻剂去除。这一工艺被用于对基板进行图样设计，使晶体管、电容器和其他组件能够以最小的尺寸和精确度制造。TEL Lithius Pro是针对多种薄膜、基材和光合聚合物材料优化的高性能光刻胶系统。它包括一个先进的光学引擎，具有各种可选的光学附件，以最大限度地提高工艺和掩蔽能力。该单元提供了一个软件控制的激光曝光的选择，或常规薄膜曝光作为一个强大的替代。机器使用的激光源允许高分辨率的微电子成像广泛的应用，包括亚微米光刻工艺。TOKYO ELECTRON Lithius Pro配备了一系列可选元件，旨在处理各种光敏材料的工艺需求。其中包括带有扩散室的液体显影罐、喷雾搅拌工具、工作地点差价调整单元和干膜夹套单元。该资产提供了模型功能的最新改进,例如高精度和可重现结果的可重复性。Lithius Pro还提供安全的数据存储和数字签名验证功能,以及针对各种光刻过程的特定于应用程序的功能集。总之,TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款易于使用的高性能光刻设备,旨在为广泛的行业提供高效、精确的微制造结果。它是一种有效的基板阵列解决方桉,同时还具有灵敏数据的强大安全性。
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