二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #9263047 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款在半导体器件、平板显示器和微机电系统（MEMS）处理中用于光掩模结构图样的光刻设备。该单元由三个集成组件组成-光源、机械运动机和投影光学元件。使用高功率光源,TEL Lithius Pro能够产生超短脉冲光和广谱可见光,从而实现目标覆盖和曝光。光照均匀性高，强度高，效果一致。此外，光源具有动态功率调制能力，使用户能够非常精确地控制曝光剂量。定位精度高达0.3nm的机械运动工具，在高真空条件下曝光时可精确移动晶片。获得专利的透明边缘设计旨在最大程度地减少遮罩边缘的光泄漏,并且即使在使用窄间距模式时也有助于达到质量效果。最后，提供了控制良好的光学照明，投影光学可以精确控制图形放大和景深。该资产采用了复杂的光学校正算法,以消除像差,确保最高的性能和可靠性。TOKYO ELECTRON Lithius Pro光刻胶型号为单层和多层抗蚀剂提供可靠、高性能的阵列。它的高精度定位精度和功率调制使用户能够实现可重现和可重复的模式。此外,清晰边缘设计最大程度地减少了蒙版边缘的光泄漏,使其成为需要非常高精度和准确性的应用程序的理想工具。