二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #9283145 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是用于制造半导体集成电路和微电子器件的先进光刻设备。它是生产半导体晶圆的关键工具，用于制造各种材料的薄沉积物或密度，然后从晶圆上蚀刻除去，形成集成电路。该系统的独特之处在于其先进的溶胶-凝胶技术，使用户能够创造更精细的特征，提高沉积和蚀刻的精度和分辨率。这使得它非常适合在集成电路上生产更小、更复杂的结构和设计。该单元还具有闭环抵抗控制功能，可以让用户精确控制机器内的暴露时间和蒸气压力等参数。TEL Lithius Pro也可用于多种工艺，如涂层、图桉、光刻和固化。其涂层能力包括自旋涂层、气动喷雾、槽模系统。该工具还采用先进的OMERLOT（输出模式电阻层）工艺，提高了抗蚀层的形成精度。除了涂层和光刻功能外,TOKYO ELECTRON Lithius Pro还包括一些功能,使用户能够操作基材的表面。这包括氧化物去除，CMP（化学机械抛光），和蚀刻回。所有这些过程都可以用来修改半导体晶片的表面地形，允许形成更复杂的结构。最后，利用高频微波降低固化时间，降低生产过程成本的先进固化模型。这种固化设备还能够快速回火循环，有助于确保所有层都能正确粘附并保持外观均匀。总体而言,Lithius Pro是一款功能强大的光阻系统,具有多种功能,使其成为半导体生产中的关键工具。它提供了先进的涂层和光刻功能,以及表面地形控制、固化和其他功能,使用户能够创建越来越复杂的设计和电路结构。