二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293587437 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款为晶圆处理应用而设计的光刻设备。其设计目的是提供高分辨率、低排便和最小环境影响的模式能力。该系统的工作原理是在晶片上涂上一种光敏化学涂层，称为光刻胶。光致抗蚀剂再暴露于紫外线光源下，通常位于光刻室内，照射晶圆的特定区域。暴露于光的区域变得不溶于显影剂溶液，而那些未暴露于光的区域则保持可溶性。然后使用显影剂溶液有选择地去除暴露在光下的涂层，从而在晶片上形成一个精细的图桉。TEL Lithius单元包括多种工艺模块，以确保光刻胶涂层、曝光和显影剂解决方桉应用都发生在正确的时间和设置。该机还包括多个成像元件，包括光学补偿CCD相机、偏振滤波器、自动区域映射和数字图像处理软件。所有这些组件协同工作，以确保光刻胶应用和曝光的工艺参数准确。TOKYO ELECTRON Lithius光致抗蚀剂工具的设计既可靠又经济高效。该资产采用不锈钢构件建造，具有耐腐蚀和抗冲击性，以及高度的湍流控制，以减少可能引入光刻室的颗粒数量。此外，光刻胶模型具有高度自动化的特点，可灵活集成到半导体工艺系统中。简而言之，锂光致抗蚀剂设备具有高分辨率和可重复模式的能力，排便率低，对环境的影响最小。该系统结构可靠，自动化程度高，可实现可靠、经济高效的晶圆加工。