二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293589532 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光致抗蚀剂设备，用于在硅片等基材上构建纳米级结构。光致抗蚀剂是具有独特特性的材料，当暴露于某些波长的光时会发生变化。通过控制光照的波长和强度，可以准确地定义特征。TEL Lithius能够使用多种曝光技术，包括接触、接近和离轴。接触曝光是用于基本形状或开口，而接近和离轴更适合于图桉复杂的形状。TOKYO ELECTRON Lithius使用聚焦光束提供亚微米精度的高分辨率图样。这套系统使用了一个高功率光源的精密光学单元。该机集成了先进的激光扫描仪、旋转多边形镜和宽变焦范围。这确保了光刻胶的精确曝光，以允许产生高长宽比结构。Lithius还集成了高级工艺控制,例如Off-Axis Shift补偿,它自动调整曝光参数以减少因离轴曝光而引起的常见分辨率问题。此工具还允许阵列的自动对齐和自动曝光控制,以便在晶圆上精确一致地复制阵列。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius也与广泛的光致抗蚀剂兼容，可用于包括半导体、硅、MEMS和NEMS器件、微流体系统等多种应用。这一资产紧凑、灵活，为纳米级结构提供精确处理。先进的光学模型、先进的工艺控制以及与一系列光刻胶的兼容性使TEL Lithius成为创建纳米级结构的理想解决方桉。