二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293589534 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光刻用光刻设备，用于制造集成电路和电子工业中使用的其他系统的工艺。TEL Lithius系统使用光通过标线将电路图样投射到光敏层上。光敏材料是一种光敏材料，用于制造电子电路。它是一种聚合物材料，暴露在光线下会发生化学改变，这使得它可以呈现投影图桉的形状。这个过程开始于在电路将建立的表面上沉积一个聚合物层。光致抗蚀剂层是由一个已被应用到基板的感光膜组成的。光刻过程的下一步涉及在包含需要创建的电路的基板上创建掩码（称为标线）。蒙版是由光刻单元使用的设计创建的。为了将电路投射到光刻胶层上，掩模与光刻胶层对齐，并使用一系列光源来曝光光刻胶材料。TOKYO ELECTRON Lithius machine使用了光刻胶照明的优化设计。它确保了光在整个表面积上的有效透射，并提供均匀的光敏曝光。此过程可精确复制光刻胶上的蒙版图桉。曝光过程完成后，开发出光致抗蚀剂，形成不透明层。然后，这种光致抗蚀剂掩模保持原样，用于将电路蚀刻到基板上。为了完成电路图样，使用干蚀刻或湿蚀刻将图样蚀刻到基板上。蚀刻过程可以使用去除暴露区域的化学溶液,也可以使用机械工具（如夹具或钻孔）切割材料。蚀刻后，光刻胶掩模被移除，导致基板上完整的电路图桉。锂工具提供可靠、准确和可重复的结果,因为它可确保光刻胶的均匀曝光,从而能够创建准确、精确的图样。这是一个高效和自动化的过程，正在电子工业中用于制造电子系统。