二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595663 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光刻胶设备，设计用于在各种基板上对光刻胶薄膜进行精确的制图，并实现光刻、蚀刻和直接写入应用。该系统利用投影和扩散曝光源以及称为自旋涂层单元的液膜形成单元来控制光敏材料的溶解和沉积。曝光源产生所需紫外线光谱的聚焦光束，这些光束被引导到石英挡风玻璃上。通过这种透镜后，紫外线在到达光敏胶片表面之前被两个扩散器过滤。光致抗蚀剂机的设计使光致抗蚀剂薄膜在一系列的基板上能够精确的图桉。这包括硅、玻璃、陶瓷、塑料、铜和铝。该工具还具有处理许多半导体设备的功能,包括DRAM和DRAM缓存存储器、CMOS图像传感器和MEMS。资产产生的投影和扩散曝光的分辨率可低至1 μ m以上。这种低分辨率允许较小的高精度纳米图桉，这在设备制造过程中很重要。模型以自旋涂层单元完成。该单元负责光刻胶膜的沉积和溶解，并允许在底物上均匀的膜沉积。旋转涂层单元通过空气或真空辅助旋转技术应用光致抗蚀剂。TEL Lithius光致抗蚀剂设备非常先进，已被证明能够高效、准确地加工一系列基板。该系统允许设备制造公司开发高分辨率、提高效率的高质量光刻、蚀刻和直接写入设备。