二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595668 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种先进的光刻胶系统,旨在帮助制造商以最少的浪费和更低的成本将细节蚀刻到表面。利用紫外线（UV）和可见光（VIS）对GaAs、SiO2、SiN等多种基板上的复杂图样进行成像。该系统由几个组件组成，包括光源、光学、转向镜和光刻单元。光源是一种高输出UV/Visible （U/V）激光器,具有优异的波长分辨率,极大地提高了光源的精度和保真度,而其光学器件设计成可投射出均匀的图像。转向镜是一种高度灵敏的自动化装置，它连接到镜头上，以确保精确的图样投影到基板上。光源和光学器件配置正确后,将光刻胶涂在要成像的基板上。光致抗蚀剂是一种特殊类型的化学物质，对紫外线和可见光敏感，暴露时会发生化学反应。将抗蚀剂暴露于激光后，可以开发出所需的图样，然后将抗蚀剂清洗掉，留下所需的蚀刻图样。在光刻操作中使用TEL Lithius提供了与传统光刻相比的显着优势。它比传统的光刻技术更快、更准确,并且可以投射出更高分辨率的图样。此外，它更便宜，使用的光致抗蚀剂和其他消耗品要少得多，而且由于光致抗蚀剂会蒸发而不是被刮掉，所以更清洁。TOKYO ELECTRON Lithius是一种高性能的光刻胶系统，与传统的光刻技术相比，可供厂商在基板上蚀刻错综复杂的图样。它用途广泛、可靠，并且能够产生高分辨率的图样，而且极少浪费光刻胶和其他消耗品。因此，它是大批量生产各种工业中使用的模式错综复杂的基材的理想选择。