二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595672 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款光刻设备，设计用于生产具有可靠电性能的半导体器件。该系统由四个模块化组件组成：基板支架、扫描仪、光源和控制单元。基板支架装有一个半导体晶圆。它设计用于在受控环境中定位和旋转晶片，以确保晶片表面上光敏光敏材料的均匀涂层。扫描仪负责曝光光刻胶材料。它由一个具有x-y龙门的电动级组成，该龙门以线性方式移动晶圆，并精确控制照明光束的剂量、偏振、大小和形状。光源负责产生照明光束并控制其强度和形状。一种常用的光源是激光驱动的电子束。控制单元是单元的心脏。它负责控制和管理整个光刻胶过程。它向其他组件提供信息,指导整个工作流程,并收集有关光刻材料的数据。通过利用上述机器部件，TEL Lithius能够生产出具有高度均匀性和可靠性的半导体器件。这个工具能够产生高度复杂的图样，密集的结构，甚至亚微米结构。此外,该过程可以完全自动化,提供出色的重复性和统一的模式.总体而言，TOKYO ELECTRON Lithius是一种可靠、高效的光刻胶资产，用于生产具有优越电性能的半导体器件。