二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293609337 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款设计用于亚微米半导体器件加工的光刻涂层设备。由日本工业供应商TEL制造的TEL Lithius是一种先进的光刻胶系统，旨在将亚微米级电路复制、切片和分离到半导体晶圆上。这种光敏装置是半导体器件加工的前沿，为制造复杂的微型电路提供了细致的工艺。该机器的工作原理是首先用一层薄薄的光敏材料涂覆半导体晶片。然后，这种材料经过一个简短的旋转涂层过程来平整薄膜，然后再暴露在紫外线下--这种曝光会将规格"写下"到曝光的薄膜上。被紫外线撞击的光敏材料区域变硬，耐蚀刻。然后对光刻胶进行洗涤，除去任何未硬化的材料--这个洗涤过程也将规格"固定"到抗蚀层中。所用的光刻胶经过特殊配制，以符合亚微米半导体器件加工所需的严格图样公差。每种光致抗蚀剂制剂的成分都可以根据每种基材的需要进行调整，以确保在曝光和加工阶段均具有尽可能高的分辨率和质量。涂层晶片暴露在紫外线下然后清洗后，光致抗蚀剂层就可以"显影"了。此步骤包括使抗蚀层受到一种反应,从而去除任何未加固、未受保护的部分。剩下的"发达"抗蚀层是指定电路的表示，准备蚀刻到设备上。最后，在蚀刻过程完成，设备准备就绪后，光刻胶层剥离并移除。TOKYO ELECTRON Lithius tool uses special techniques to确保光刻胶永不被过度剥离，避免对装置造成任何损坏。综上所述，锂光致抗蚀剂资产提供了一个精确而复杂的过程，用于在半导体晶片上创建亚微米尺度的电路。它利用了专门配制的光致抗蚀剂和自旋涂层工艺，使半导体器件能够暴露在紫外线下并被"开发"，以便复制指定的电路。它是确保亚微米级半导体器件微型电路质量最高的前沿模型。