二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293610403 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款光刻加工设备，在一系列先进的光刻应用中提供卓越的性能。它具有完全自动化和集成的系统，允许用户轻松地配置单个工具，以不同的光敏材料处理各种晶圆结构。该设备使用下一代光学曝光机（NEXTGen,简称NEXTGen）将光刻胶暴露于受调节频率的光照下,从而将图样精度提高到0.4 μ m的线条和空间。该工具旨在轻松集成光掩模、步进器和扫描仪,以实现阵列设计设备和电路设计的最佳灵活性。TEL Lithius的高级晶片处理功能进一步实现了从负载端口到过程的无缝高效基板传输。该资产的设计具有较高的收益率控制和成本效益。它使用先进的基板均匀性模型（SUS）进行缺陷敏感性,并利用最小化的部分场依赖均匀性方差最大程度地控制屈服。此外，设备使用了多种先进的PR薄膜，在允许高分辨率成像的同时需要很少的晶圆经波。TOKYO ELECTRON Lithius的创新功能也解决了晶圆级成本的最小化问题。其设计使单一光刻系统能够处理各种工艺步骤和抵抗薄膜，从而无需额外的大型机和软件投资。此外,它还通过有效控制光刻胶和蚀刻成分,将操作成本降至最低.在其悠久的历史中，锂光刻装置一直为先进的光刻工艺提供可靠、经济高效的解决方桉。其创新特点和先进的车载系统有效地平衡了成本和性能，确保了优越的产量控制和改进的工艺流程。其高度自动化、集成的机器消除了对多种投资的需求,简化了工作负载,为设备制造创造了性能优势。