二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293615016 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光刻设备，设计用于光刻工艺，用于制造半导体和集成电路等微电子元件。该系统非常适合大体积、大面积的接触过程，能够处理各种各样的基材。该装置利用200至400纳米波长的各种准分子和LED紫外线光源，并允许0.5至10 mJ/cm2的曝光剂量。TEL Lithius机器具有自动曝光优化功能,为关键特性提供了卓越的过程重复性和准确性。该工具配备了高性能、高速度的激光扫描仪，能够扫描40英寸大的区域。扫描仪的曝光精度为0.765微米，扫描速度可达每秒6英寸。资产还包括具有多种不同功能的高性能曝光控制器，如剂量控制、面罩对准、模式检查等。控制模型允许同时暴露多个场位置,并支持一系列低至0.25微米的特征,从而确保了高生产率。此外，TOKYO ELECTRON Lithius设备符合SEMI标准E75，允许多种开发方法，包括湿式或干式开发。锂系统具有多种保护微电子元件质量的特点.装置上的传感器检测尘埃和其他粒子的存在，如果存在，则提醒操作员。此外,该机器的设计旨在降低功耗,其自清洁紫外线源控制工具可防止紫外线源因灰尘污染而产生故障模式。最后，资产还有一个额外的开放式开发方桉，可以在光刻过程中增加灵活性。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius光刻胶模型是微电子元件生产的有效工具。它非常适合大批量制造,并且由于其自动化的暴露优化和灰尘污染检测系统而能够产生一致、可靠的结果。此外,SEMI的SEMI标准合规性和对各种开发方法的开放性提高了设备的灵活性,使其能够满足生产过程中的个别需求。