二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293615289 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光刻设备，使深紫外线（DUV）光刻使用光刻材料。它利用了一种特殊类型的光刻胶系统，简称有机光刻胶（OPR），在紫外线光刻应用中使用时极为有效。这一单元特别适合于生产小型和复杂的结构，这些结构存在于要求其最终产品精确度最高的行业中。光刻过程中，光刻膜首先暴露在紫外线光源下。光源由薄膜类型和应用定义，如DUV或DUV-迭加。在暴露过程中，光致抗蚀剂分子的分子被分解，暴露的分子被去除。此过程从光刻胶胶片中移除材料的不需要区域,创建所需的图样并创建胶片上的图样。然后，TEL Lithius机器能够精确地将胶片上的图样转移到感光工件材料中。光敏工件首先被暴露在高分辨率激光上，该激光精确精确地将胶片上的图样记录在所需的基板上。然后将注册的图样转移到基板上,勾勒出所需的结构。TOKYO ELECTRON Lithius工具经过专门设计，通过其多步骤的应用过程，包括高清分辨率扫描、自动校正和高性能蚀刻，确保了片上图样操作的准确性和可重复性。通过这一过程，图样的精确度和精确度转移到基材上，确保了高度可重现的过程。由于其精确度、精确度和可重复性，Lithius资产特别适合各种应用，包括开发和商用晶片制造、模式验证、维修以及半导体制造的光刻。该模型也具有很强的适应性，能够通过各种工艺和应用使用，如蚀刻、检验和各种表面处理。利用TEL/TOKYO ELECTRON Lithius设备可确保在多个领域实现高精度、高细节和高重复性,DUV光敏材料可为一系列电子制造工艺提供通用和可靠的应用。其紧凑的设计、高分辨率和制作复杂图桉的能力，为用户提供了光刻技术的质子束，非常适合那些需要以最高精度制造的人。