二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763044 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）设计制造的多角度成像光刻设备，使半导体制造商能够精确地制造精细结构，并进行光刻图样操作。该系统的工作原理是激光以各种角度扫描一个表面，并以高精度的基板级在基板上投影图像。基板级能够改变速度和方向，允许在蚀刻和图样制作过程中使用各种参数。然后，光敏的光致抗蚀剂被应用到基板上，从激光束扫描的图像会在光致抗蚀剂上形成图样。这种模式，连同原始的透镜扫描，被用于电子束选择性地蚀刻基板的某些区域。TEL Lithius单元具有高分辨率功能,允许一致创建尺寸高达28纳米的特征阵列。由于这种极好的分辨率和高精度，这台机器能够保持高度控制蚀刻和图样制作过程。此外，该工具还具有多个阵列级别，使得多层结构可以在基板上制造。这允许对布局进行各种修改和改进,这对于解决潜在的设计缺陷非常有用。虽然TOKYO ELECTRON Lithius资产设计用于半导体制造，但也可用于各种涉及蚀刻、光刻或涂层工艺的应用。这种安全可靠的模型还具有高级监视功能,可确保流程的每个阶段都能顺利运行。它还有多个通信端口，用于与其他系统的安全通信，以及一些其他可靠的安全措施。锂设备是一个非常可靠和安全的解决方桉，用于执行各种蚀刻、光刻和涂层工艺。其先进的特点、高分辨率的能力和各种安全特性使其成为半导体制造的绝佳来源。