二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763045 待售
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ID: 293763045
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Coater / Developer system, 12"
(2) Block machines
CRA robot
PRA robot
(3) IRAM robots
IRAS robot
(5) Front Opening Unified Pods (FOUP)
(2) Temperature controllers
(3) Cabinets:
Resist
Developer
Coater
Power box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TEL製造的高度先进的光刻胶设备,又名TOKYO ELECTRON。TEL Lithius系统被设计为显示和逻辑集成电路(IC)制造等各种光刻应用的工具。该单元可对各种薄膜材料和光刻胶产品进行精确的图样绘制。TOKYO ELECTRON Lithius machine附有几个先进的功能,让使用者能够快速且准确的绘製各种薄膜材料。该工具配有动态焦点控制装置,用户可以准确快速地调整资产的焦点,以达到尽可能高的图样精度。它还具有一个可编程的晶片载波,允许用户以最小的人工干预将晶片移动到所需的位置。使用Lithius模型时,用户可以从两种不同的掩码类型中进行选择。第一种是小掩模,用于对晶圆的小区域进行图样化。第二种是大型掩模,可用于绘制较大区域的图案。用户可以从各种曝光习惯中进行选择,包括单个和多个曝光周期。此外,该设备还包括各种激光电源设置,允许用户设置其特定应用程序所需的功率级别。该系统还提供了一系列镜头选项,以优化不同应用程序的阵列性能。镜头尺寸和设计可以进行调整,以最大限度地提高应用的特征分辨率。此外,用户可以从一系列照明源中进行选择并收集目标等剂量。该单元还包括一系列安全功能,以保持操作员和用户的安全,包括几个监控机器空气质量和温度的安全传感器。该工具还发出一个响亮的警报,让操作员和用户知道资产是否达到了不安全的水平。最后,该模型包括一个稳健的维护和校准程序,以保持设备的最佳运行。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款高度先进和可靠的光刻胶系统,可以让用户快速准确地对薄膜材料的小面积和大面积进行图桉。该单元提供了一系列功能,使用户能够调整焦点、选择曝光周期以及设置一系列镜头和照明设置。此外,该机还具有多种安全功能,以确保操作员的安全.归根结底,TEL Lithius是一种非常直观可靠的光刻应用工具。
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