二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763046 待售
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ID: 293763046
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Coater / Developer system, 12"
(2) Block machines
CIM: SECS
Handler system: Robot (CRA, PRA, (3) IRAM, IRAS)
Factory interface: (5) FOUP
(2) Temperature controllers
(3) Cabinets:
Coater
Resist
Developer
Power box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由半导体制造领域领先企业TEL开发的光刻设备。该系统被用于光刻过程，这涉及将图样从光掩模转移到晶圆上。光刻装置由一台以极高的精度和一致性进行光刻过程的机器组成。机器有一个机械臂，它将正确的光刻胶层传递到给定的基板上。机械臂可以编程为将光刻胶应用于特定的位置和特定的层厚度。它还应用其他化学物质来辅助光刻过程。机器还配有固化装置，用于硬化光刻胶，使其能够精确地形成在基板上。固化单元可用于在特定温度下固化光致抗蚀剂，这是确保光致抗蚀剂精确形成所必需的。TEL Lithius工具还具有多种安全功能,可确保员工和环境安全。它配备了一系列光学传感器，用于检测火花、静电堆积、聚合物膜泄漏等危险情况。它还配备了安全措施，保护使用者免受有害蒸气和粉尘的侵害。机器本身具有很高的耐用性和可靠性。其零件全部由优质材料制成，制造商提供详细的维护指南，以确保资产保持其精确度和准确性。TOKYO ELECTRON Lithius对于专业的半导体制造业来说是一个非常有价值的工具。其准确性和安全特性确保光刻工艺产生一致和准确的结果，而其耐用性和可靠性将确保它在未来几年继续为行业服务良好。
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