二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293766146 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款设计用于集成电路制造工艺的高精度光刻设备。它具有多种特性，可以产生可靠和可重复的结果，同时也能够容纳最先进的光刻材料。该系统具有两种不同类型的腔室，LCT（氯化锂电镀罐）和PRT（光抵抗基底罐）以及一系列其他支撑腔室。LCT用于在晶片上涂上氯化锂涂层，而PRT则用于涂抹光致抗蚀剂并发展层。这是使用一系列精确编程的光和化学运动完成的，确保该层均匀地应用并满足精确的厚度和图样要求。光致抗蚀剂涂层是使用各种曝光方法开发出来的，如掩蔽、深紫外线或激光。这些方法允许精确控制图层的厚度和图桉,从而可以创建极其复杂和定制的设计。该单元还配备了对准机，使其能够轻松地将PRT和LCT罐与晶圆对齐，确保光刻胶被应用在正确的位置。此外,还包括几种不同的冷却系统,有助于确保光刻胶在曝光或显影过程中不会过热。最后,TEL Lithius还配备了许多自动化功能,从而提高了一致性和生产率。这包括自动晶片处理、光刻胶应用、涂层厚度控制和对准。这样可以确保每个晶片具有相同的精度级别,从而降低出错的风险并确保可重复的性能。总体而言，TOKYO ELECTRON Lithius是一种极具能力和可靠性的光刻工具。它的特点,包括自动处理、精确对齐以及高级曝光和开发,非常适合创建复杂而细致的光刻胶层,非常适合要求最苛刻的制造工艺。