二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293766617 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光刻胶设备，用于处理在电子、光伏和生物技术的许多分支中发现的薄膜。该系统由一系列高度专业化的组件组成，如旋转级、吸收池和真空室，全部用于沉积、显影和蚀刻薄膜。旋转级配备了先进的传感器单元和电机，使其能够以可变速度和运动轮廓旋转，从而能够精确沉积薄膜。这一阶段通常被整合到一个真空室中，它能够控制环境的温度、压力和纯度。真空室还装有一个专门的吸收电池，其中包含一系列有机金属试剂，设计用于将薄膜高效和精确地沉积到底物上。此外，这台机器还具有一个内置的冷却区，有助于保持沉积过程，使薄膜厚度的优化能够满足特定的要求。TEL Lithius光刻工具还具有先进的成像资产,能够开发和蚀刻胶片。该模型使用频率可调的低功率光源来创建被沉积薄膜的增强图像。一旦胶片被开发出来，设备就能够使用经过改装的口罩和保护空间，以极高的精确度对其进行蚀刻。这种成像系统允许创建厚度高达450埃，或4.5纳米的精确薄膜。而且，TOKYO ELECTRON Lithius光致抗蚀剂单元附带了一系列最先进的支持系统，如远程诊断、自动控制和多层安全系统。这些支持系统能够有效地利用机器的所有功能,以开发和蚀刻高度复杂的薄膜。综上所述，锂光刻工具是一种高度先进、设计高效的资产，适合最苛刻的薄膜相关应用。它提供了广泛的组件，包括旋转级、吸收室、真空室、成像模型和一系列支撑系统，用于沉积、开发和蚀刻具有各种复杂程度和准确性的薄膜。