二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293766619 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是由TEL（TOKYO ELECTRON Ltd.）开发的一系列具有先进特性的光刻系统，使其成为光刻应用的行业标准。这些系统提供了玻璃、晶体、聚酰亚胺和多晶硅等基板的精确图样，并具有精确的对准和曝光控制。设备的主要部件包括光敏处理环境、曝光系统、对准单元、过程控制机和后处理工具。光致抗蚀剂加工环境是专门为在安全、受控的环境中处理机载危险化学品加工而设计的。这确保了光刻作业能够可靠地以准确和精确的方式完成。曝光资产为光刻图样的应用提供了量身定制的光强度分布。这是用高精度的USHIO光源阵列来完成的，从而在整个基板区域产生均匀分布的光束。曝光过程可以根据需要进行调整，以实现精细的图桉，并具有极好的对准精度。对准模型在曝光过程中提供精确的基板定位和运动。一组高度敏感的探测器决定了曝光过程前后基板的确切位置，允许精确的迭加和模式配准。此外,还使用CCD摄像机进行模式识别和成像分析.工艺控制设备对精密光刻处理进行所有必要的计算。该系统可以自动校准精确的掩模定位，计算理想的曝光参数，并针对较小的温度和湿度变化进行调整。最后,后处理单元处理任何额外的处理要求,例如显影、蚀刻和保护涂层。本机提供加工前后所需的紫外线和化学防护，以保持基板的完整性。采用TEL Lithius光致抗蚀剂系统的结果是可靠和高质量的。需要精确阵列、精确对齐和可重复性的光刻应用程序以无与伦比的精度和精确度执行。该工具足够强大，能够处理复杂的应用程序，并能够高效实现复杂的电子设备。