二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293767330 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款精密的光刻设备，旨在提高光刻精度、速度和精度。它为光刻师提供了最高水平的性能和对其光刻工艺的最大控制。TEL Lithius系统包括两个主要元素,一个是光刻工具,另一个是光刻装置.光刻工具的设计是为了快速暴露，开发和蚀刻图样到目标基板上。它配备了高精度电机、光学、图像捕获和数据记录系统，可以处理300 x 300 mm大小的目标基板。光致抗蚀剂机是一套精密的抗蚀剂制剂，具有特定的高级成分效率（ACE™）抗蚀剂制剂工艺，以确保均匀暴露和向基材转移图样。TOKYO ELECTRON Lithius利用软件套件实现对过程的精确控制。它包括用于生成所需图像的Pattern Generator软件、用于校准曝光参数的Exposure软件和用于管理和控制整个光刻过程的Auto-Process软件。其他功能包括用于检测错误并纠正错误的自动校正工具,以及用于存档图像数据的资产。Lithius设计用于使用0.8 um的格式分辨率对基板进行精确一致的处理。它还支持角度曝光和旋转曝光,允许用户在设计和制造过程中实现更大的灵活性。该模型设计为节能，有助于降低能源成本和总体生产成本。它还采用高速成像和扫描技术,有助于更快地更新和提高吞吐量。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius还能够进行自动检查，使用户能够审查其光刻工艺的质量，并确保其产品具有一致的质量。总体而言,TEL Lithius是一款精密的光刻设备,使光刻师能够轻松一致地达到最高精度和准确度。它为用户提供了一个强大的工具，用于原型制作和生产的高效处理。
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