二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293814758 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款业界领先的用于半导体应用的光阻设备。光致抗蚀剂系统允许使用光敏化学物质，该化学物质在暴露于紫外线辐射下会发生物理和/或化学反应。这开启了多种应用，如光刻、薄膜沉积、蚀刻和图样制作。TEL Lithius单元提供了改进的光图案控制和优化。它采用旋转式设计，窄光束的紫外线聚焦在抗蚀层上。太阳能再转化为化学能，引发光敏反应。TOKYO ELECTRON Lithius机器提供了卓越的精度，允许更小的装置尺寸，更快的循环时间，更高的产量。锂刀具由坚固的材料构成，是为在半导体制造中取得最佳效果而专门设计的。资产的精密导向部件是气密的，没有裸露的机械或电气部件。这样就可以在维护最少的情况下进行可靠和一致的操作。此外，该模型紧凑高效，具有高分辨率的操作，可以很容易地应用于多个应用。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius的操作快速准确。使用先进的冷却设备，系统可以减少阻挡罩内的热点。这提高了抗蚀剂图样的精度，避免了器件失真，最大限度地减少了化学废弃物。此外，该装置有多种控制UV光输出的选项，允许在不同的应用中精确控制光敏反应。为了保证精确的光刻和良好的光刻效果，TEL Lithius机配备了一套精密的检测和监控系统。这包括成像工具、电极监视资产和光功率监视器。成像模型允许用户监控过程并根据需要进行调整。光功率监视器可以检测和保持紫外线强度的精确水平，以优化抗蚀剂的图样。总体而言，TOKYO ELECTRON Lithius是一款强大的光阻设备，可以提供高度精确的结果。适用于多个半导体应用，允许对过程进行方便的控制和监控。Lithius凭借其先进的功能和全面的系统，提供了一个优秀的光刻和光刻平台。