二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293821715 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TEL Ltd开发的光阻设备。（TOKYO ELECTRON）用于生产集成电路（IC）。该系统由高精度曝光设备、高速精密开发储罐、表面处理设备、光刻软件等几个部件组成。在光刻过程开始时，将"光致抗蚀剂"应用于半导体晶片。光致抗蚀剂是一种对紫外线或其他辐射敏感的光敏材料，视使用的光致抗蚀剂类型而定。与TEL Lithius单元一起使用的高精度曝光设备，精确地将光刻胶暴露在光线下。该设备由高度稳定的真空密封工艺环境组成，有一个特殊的灯源保持在均匀的温度下，确保了曝光的准确性和可靠性。该机还包括一个高速精密开发罐，在光刻胶的开发中提供了最高的精度水平。精密开发罐装有高度精确的基板定位工具，允许晶圆精确对准。除了光刻胶开发外，TOKYO ELECTRON Lithius资产还包括表面处理模组。该模块用于粗加工、湿洗和脱脂，以及干式等离子体蚀刻，所有这些都是形成所需的光致抗蚀剂层所必需的。与其他现有系统相比，Lithius模型不仅提供了最高的精度水平，还减少了光刻工艺的工艺时间。这使得半导体公司生产IC的速度比以前更快，成本更低。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius设备是由TEL/TOKYO ELECTRON Ltd开发的综合光刻系统。（TEL）用于IC生产。该单元由高精度曝光设备、高速精密开发储罐、表面处理设备、光刻软件等多种部件组成。该机器具有高精度和高速度,能够以比以往更低的成本和更快的速度生产IC。