二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293829709 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种先进的光致抗蚀剂设备，用于工业制造工艺。它结合了UV曝光、光掩模创建和抗应用等光刻创新技术，实现了产品在多个行业的最高分辨率和最具成本效益的制造。该系统由暴露单元、集成抗蚀剂和基板定位阶段三个主要组成部分组成。曝光装置利用先进的光学技术，将大面积的图桉投射到基板上。这允许投影具有高分辨率和高均匀性的大而均匀的图桉。它专为高度自动化的生产过程而设计,提供灵活且易于自动化的曝光程序。集成的抗蚀剂涂抹器不需要手动旋转涂层和均匀性校正。这个自动装置会自动以固定和预定的模式分配精确数量的抗蚀剂。使用的抗蚀剂可以是任何一种水基、有机或离子抗蚀剂，让厂商选择最适合自己需求的抗蚀剂。基板定位阶段负责将基板定位在曝光单元的任何角度和位置。这使得製造商可以精确控制光敏树脂在基板上的对准和聚焦。因此,制造商可以在较小的基板上打印时获得更高的分辨率。这三项技术的结合创造了一个强大而高效的光敏单元。TEL Lithius提供超高分辨率和准确性,成本仅为其他系统的一小部分。其自动化和高效的功能使制造商能够降低生产过程的成本和时间,并使他们能够实现其产品的最高精度和分辨率。这使得TOKYO ELECTRON Lithius对于任何寻求可靠、经济高效光刻机的制造商来说都是一个绝佳的选择。