二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293829891 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种下一代光刻胶设备，为要求复杂纳米级结构的先进技术提供集成的阵列解决方桉。该系统使用一个特性长度小于100 nm的激光束，允许创建低至低于50 nm尺寸的光刻胶图桉元素。TEL Lithius所使用的Laser Direct Imaging （LDI）技术为阵列制作过程提供了最大的速度和控制。采用超低光圈（ULNA）镜头和最先进的操作软件。这种组合导致高速高分辨率成像，最小曝光剂量仅为0.2 mJ/cm2。该设备还非常可靠，因为它具有先进的硬件保护机制，以确保光刻胶图样没有缺陷。此外,该机器还具有内置的清洁功能,如颗粒检测、除尘和洁净室完整性检查,使其非常适合复杂的环境。TOKYO ELECTRON Lithius对激光束的精确控制有助于最小化模式失真。该工具允许高速轮廓控制,而不牺牲过程精度。它还采用了先进的反馈算法，将焦点一直优化到底物，从而获得准确的工艺结果和改进的成像，并缩短了开发和周期时间。该资产还配备了自动化维护和优化功能，使免维护量产成为可能。这些功能可以使用户持续监控流程参数并快速响应更改。该模型还支持图像模拟，使用户可以在操作设备内提前开发出完美的航空图像。锂系统强大的特性和可靠性使其成为需要复杂纳米级结构的应用的理想选择。该设备可确保最高精度、速度和可靠性,使其成为任何需要100 nm以下尺寸光刻胶图桉的先进技术所必需的设备。