二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9032288 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是半导体工业中用于光刻工艺的光刻设备。光刻是一种使用光敏化学物质将设计图样转移到基板上的印刷技术。光刻胶系统由光源、包含设计图桉的光掩模和光刻胶材料组成。光源通常是紫外线激光或汞弧灯。光掩模是一块玻璃、金属或塑料，上面刻有设计图桉、孔或凹槽。光致抗蚀剂是一种光敏材料，施加在基板的顶部。当暴露在光线下，光致抗蚀剂被激活，使其与底物形成化学反应，将图样蚀刻到表面。TEL Lithius单元旨在提高光刻工艺的精度。利用电极测量系统和激光检测系统，提高了光掩模和光刻胶系统的精度。使用多个电极可以让机器检测光刻胶材料中的任何变形，以及任何粒子，确保光刻胶图样的精度。此外，精密激光检测工具利用了同时观测精度，并在过程中自动调整失准和运动误差。TOKYO ELECTRON Lithius资产的设计还允许电路特性尺寸小于传统光刻工艺所能达到的尺寸。这是利用精密激光检测模型和设备中的微处理电路实现的。精密激光检测系统用于检测光掩模和光刻胶的尺寸、形状和方向，使得在基板上产生极小的特征成为可能。微处理电路还允许光刻过程自动化，使用户能够控制和调整线宽等输出参数。总体而言,Lithius设备非常精确、自动化,能够创建小尺寸的电路功能。这使得它非常适合在半导体工业中使用，提供高效可靠的光刻工艺。