二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9102163 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是在半导体器件发明中，利用照明器在晶圆基板上创建光刻图桉的光刻设备。它旨在减少在晶片基板上创建光刻图样所需的时间，并创建更清晰、更精确的光刻图样。要打造这些高精度图桉，TEL Lithius系统采用集成光学、先进光源、光传输单元、包括电子束曝光在内的专有光刻技术以及I线、深紫外线和EUV光源的组合。利用这些技术，机器可以在大面积上产生密集、均匀、高精度的光刻图桉。集成的光学器件使光源能够创建非常精确的局部模式，并且光传输工具有助于尽可能精确地传输光。光刻资产还使用了几种专有技术，包括电子束曝光技术，利用高度集中的电子束在大面积上制造图样。它还利用波长为248 nm至13.5 nm的I线、深紫外线和EUV光源。该模型还具有一系列迭加精度和过程控制特征，包括自动晶圆映射、扫描角度控制和温度补偿。这些特性加在一起有助于确保光刻设备产生的图桉准确、精确。TOKYO ELECTRON Lithius被设计为晶圆基板阵列的高效系统。集成光学、光源和专有技术的结合有助于创建极其精确的光刻图样,从而减少了图样制作所需的时间。该单元也非常精确，具有自动晶圆映射和其他功能，以确保模式精确和统一。这些特性使Lithius成为创造高品质光刻图桉的理想机器。