二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105625 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9105625
Develop Process Station
P/N: DEV ASSY
Includes:
FRAME ASSY BASE - 5085-412352-13
BASE(MIDDLE) ASSY - 5085-412349-12
CUPBASE ASSY - 5087-404181-12
3PIN ASSY - 5087-403368-12
COVER(CUPBASE) ASSY - 5085-409612-15
OUTCUP ASSY - 5087-401364-13
ARM(L) ASSY - 5087-400475-16
BASE(SCAN) ASSY - 5085-412389-11
MOTOR(L) ASSY - 5087-402854-11
PULLEY ASSY - 5085-404442-12
WASHERNOZZLE ASSY - 5085-405111-11
AIR OPE ASSY(BR) - 5085-407386-16
SCAN(ARM-B) ASSY - 5087-403489-15
COVER ASSY - 5085-412524-12
FRONTBOX ASSY - 5085-412353-13
E-BOX(DEV) ASSY - 5087-403481-11
SUPPORT ASSY - 5085-412354-13
FRAME ASSY MOTOR - 5087-400478-15
DUCT(DEV)ASSY - 5085-412380-13
CHUCK(SS) ASSY - 5085-411385-11
ARM(R) ASSY - 5087-400476-16
MOTOR(R) ASSY - 5087-400477-11
PULLEY ASSY - 5085-404442-12
NOZZLE TOP(NLD) ASSY - 5085-413053-11
LD BATH ASSY - 5085-404315-17
SUPPORT ASSY(NLD) - 5085-401943-11
WATERBLOCK ASSY(NLD) - 5085-404692-14
VALVE ASSY(AMF) - 5087-400486-15
CUP ASSY (LD) - 5085-409683-13
MANIFOLD ASSY (4LINE) - 5085-404368-13
SOLENOID(BLOCK) ASSY - 5085-408453-11
GUIDE(SCAN) ASSY - 5085-409482-11.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款用于多种行业的光刻胶设备，例如半导体器件和显示器。TEL Lithius以其先进的光刻系统提供高精度的材料沉积和精细的图桉。该单元以高分辨率投影仪为基础，该投影仪将化学反应光图像投射到沉积的薄膜材料上，产生高精度的图样。此外，投影仪与多尺寸激光同步，以确保最佳分辨率。这台机器可用于产生最小特征尺寸分辨率为0.1µm或更小的错综复杂的设计。采用湿蚀刻和化学蚀刻工艺相结合，光刻胶残留物容易去除。这样可以确保残留的光致抗蚀剂不会转移到设备的其他部分,这可能会导致电气故障和其他生产错误。TOKYO ELECTRON Lithius工具还包括一个先进的控制资产，用于精确的薄膜沉积和图案。模型软件能够控制多个参数，如激光投影仪同步、蚀刻参数和其他设备设置。此外，系统软件允许与外部数据库集成，为快速优化生产参数提供数据。此外，该单元还包含一个高精度的真空室，为光刻胶层的开发和加工提供了最佳的大气控制。该真空室还减少了气泡和残留的光致抗蚀剂。最后，Lithius机器带有一个用户友好的界面，它允许简单直观的操作。用户还可以自定义工具的顺序,以便一次处理一种或多种材料,以及使用内置监视器监控生产过程的进度。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius资产是一种先进的高精度材料沉积和精细图样的光刻模型，高度可定制，为光刻胶的开发和加工提供了最佳的大气控制。
还没有评论