二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105630 待售
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ID: 9105630
Process Block Robotics Arm
P/N: PRA ASSY
Includes:
010-204079-11 FORK(200),PRA 1
5010-307799-13 BLOCK(200),PRA 3
020-005778-1 CAP SCREW CBSST4-8 3
020-002601-1 BAIND SCREW M3*4 SUS304 6
032-000585-1 FLAT WASHER M4 1L SUS304 3
5010-308529-11 PLATE(1-200),HEAT SHILED 1
5010-406949-11 SUPPORT(X-1) 1
5010-308530-11 PLATE(2-200),HEAT SHILED 1
5010-302404-11 FRAME 1
020-000028-1 CAP SCREW M4*6 SUS304 2
020-007602-1 TORX CAP SCREW M4*8 SUS304 2
020-002913-1 CAP SCREW M4*8 SUS304 W/SPR & FLAT WASHER 2
032-000011-1 FLAT WASHER M4 SUS304 POLISHED ROUND 2
032-000058-1 SPRING WASHER M4 SUS304 2
5010-101146-12 BASE,(X)UPPER 1
5010-101147-13 BASE(X),LOWER 1
5004-400017-12 ARM(X1-1) (509510045511 1
5010-305344-11 SUPPORT(X1-1) 1
5004-400018-11 ARM(X2-1) (509510045511 1
5010-306532-11 ARM(X2-2) 1
5010-305345-12 SUPPORT(X2-1) 1
5004-400019-11 ARM(X3-1) (509510045511 1
5010-306533-11 ARM(X3-2) 1
5010-305346-11 SUPPORT(X3-1) 1
5004-400015-11 CLAMP,BELT (509510045411 6
5010-401565-12 PLATE 5
5010-404925-11 STOPPER(X-1) 3
5010-404926-11 STOPPER(X-2) 6
5010-305873-11 SUPPORT(X-2) 1
5010-305987-11 SUPPORT(X2-2) 1
5010-306512-12 STAY,SUPPORT 1
5010-405028-11 COVER,CABLE 1
5010-404472-11 COVER,SENSOR 1
5010-405427-11 PILLER(1) 2
5010-405428-11 PILLER(2) 4
5010-307086-12 PLATE(1),SIDE 1
5010-306535-12 PLATE(2),SIDE 1
5010-306536-12 PLATE(3),SIDE 1
5010-404927-11 BLOCK,AJUST 2
5010-405430-12 SHUTTER(X) 3
5010-405429-12 BRACKET,SUPPORT 1
5010-408761-11 SHUTTER(TH) 1.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种光刻设备，设计用于曝光半导体基板和其他晶圆级器件。光致抗蚀剂系统允许在基板上创建各种图样，从而能够以高精度和精确度开发高性能电子元件。TEL Lithius系统使用EUV（极端紫外线）光源来实现0.3 um设备特征的光刻,并检测尺寸小至0.2um的掩模缺陷。该装置设有一个自动掩模检查室，利用低像差（模煳）的精确扫描光学器件检测掩模中的缺陷。机器还使用了一个固定磁铁工具，以防止蒙版在曝光时移动。该资产支持各种曝光模式，允许最佳的基板阵列。例如,一次曝光模式允许使用一个掩码同时曝光多个设备。高分辨率点曝光模式使单个像素的曝光具有比传统步进系统更高的分辨率。另外，多重曝光模式使得光强度的调整能够适应基板的条件。TOKYO ELECTRON Lithius模型设计方便操作。它具有直观的用户界面，设计为用户友好，允许操作员快速掌握设备。它还具有高速和高度精确的自动对焦功能，提供更快的对焦时间和更高的精度。此外,系统还具有自动校准功能,无需手动校准。最后,Lithius单元非常可靠,其模块化体系结构针对高速和性能进行了优化。它具有灵活的可扩展设计，允许机器升级以满足未来的要求。该工具还内置了环境和安全措施，为所有用户提供安全和健康的工作环境。
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