二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105632 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一种先进的光刻设备,旨在改进各种应用的光刻解决方桉。该系统将光源与获得专利的干式抗蚀剂单元结合在一起，以比传统湿式显影更高的精度在晶片上创建图样。该机器采用高强度紫外线光源和先进的光学工具，用于均匀的照明场。所应用的抗蚀剂设计成可干法加工，并以潮湿发育中未见的方式对光线具有反应性。结果是一个极其均匀和高度可靠的图样化表面。通过一系列步骤，包括预感应、对紫外线照射的反应和后显影，可以对资产的干性抗蚀剂进行照相设计。TEL Lithius模型的一个独特特点是，每一步都可以通过使用软件和图像分析工具进行自动化和监控。这使用户能够准确量化光刻胶工艺的性能，以确保更高的准确性和准确性可预测性。TOKYO ELECTRON Lithius设备设计了多种制造和功能资源，以确保性能一致。这些资源包括一些摄像机系统，为用户提供其抗蚀剂的精确深入视图；石英透镜，保证晶圆的稳定和无激光照明；以及粒度调节功能，使用户能够控制照明能量。该系统还包括日常维护功能,确保设备随时间保持一致。Lithius machine除了促进其图桉高度精确的均匀性外，还提供了0.25 µm或更高的更好的覆盖精度，为用户提供了改进的线条和空间结构。该工具的其他特点包括拥有成本较低、不需要光刻胶溶剂以及能够在绿色晶圆片中操作。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius资产具有从自动化到维护的广泛功能,旨在一致生产微电子设备和组件。