二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111778 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是设计用于制造半导体器件的先进光刻设备。它旨在以低成本和高吞吐量提供高质量的阵列性能。该系统采用光刻技术，称为光学光刻。这是一个通过遮罩投射光在半导体材料上产生图样的过程。TEL Lithius单元配备了先进的光源，可发射紫外线。这种紫外线通过光遮罩被引导到光刻涂层的半导体材料上。光刻胶层是感光的，暴露在光线下会改变其结构，产生图桉。然后可以开发这种模式并转移到半导体材料上。该机具有先进的光学照明工具、三自由度（3-DOF）对准模块、先进的晶圆扫描以及改进的特征分辨率，最高可达65nm。该资产能够产生线宽为1-2um的高精度图桉，并完全消除缝合效应。它还有一个先进的光刻胶控制模型，可以精确管理光刻胶层的温度、组成和粘度。该设备还具有自动对准系统，可确保各种材料的精确对准和精确图样。它有一个专门的模模校正单元，可以有效消除过程中产生的任何工件或不规则性。此外，机器还有一个沉积工具，用于在基板的图样表面上增加保护层。该资产能够同时运行多个进程,并且与大多数掩码对齐器和晶圆步进器兼容。它还能够处理具有多层和特征的大型复杂设计。总体而言,TOKYO ELECTRON Lithius模型旨在为高精度阵列设计和半导体器件生产提供经济高效的解决方桉。