二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111796 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是全球领先的半导体制造设备和材料供应商TEL的可靠光刻设备。光致抗蚀剂系统用于制造半导体器件，特别是在光刻过程中，光致抗蚀剂成像用于将电路图样传递到硅片上。TEL Lithius专为高精度和可靠性而设计,提供独特的功能以提高流程性能。该系统旨在减少与光刻胶曝光相关的常见问题，如不均匀曝光和模式失真。它通过使用具有大数值孔径和高波长精度的先进光学单元来做到这一点。它还有一个可编程的Z伺服机，可以根据预定义的设计精确调整晶圆位置。光学和Z伺服系统可以很容易地校准，以提高精度和可重复性。TOKYO ELECTRON Lithius凭借其自动化的温度和湿度控制工具,通过各种温度和湿度条件提供了稳定性和可靠性。这有助于确保用于成像的光刻胶即使在长时间曝光后也能保留其性能。资产还配备了安全功能，在温度和湿度水平超过预设阈值时自动终止曝光过程。此外,该型号还具有摄像头模式,允许用户轻松监控光刻过程。此功能提供实时数字成像数据,可用于在光刻过程中快速检测任何缺陷或错误。相机模式也可用于调整曝光参数，以提高图像质量。总体而言,Lithius是一款可靠的光刻设备,提供旨在提高光刻工艺性能的功能。它有一个先进的光学系统来提高层的分辨率和稳定性，一个可编程的Z型伺服装置用于精确的晶圆定位，自动温度和湿度控制的稳定性，和一个相机模式的数字成像。这些特性和改进的工艺性能使TEL/TOKYO ELECTRON Lithius成为半导体制造商的理想选择。