二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111798 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款下一代光刻胶设备，旨在提供极精确可靠的光刻胶图样曝光。该系统利用数字成像和最新的先进光刻技术，为先进的半导体工艺产生极其尖锐的高分辨率成像特性。TEL Lithius单元旨在满足最现代半导体加工的严格要求。该机器具有高度可靠的全自动曝光工具,既可以接受用户定义的模式,也可以接受本机生成的模式。为用户提供了一系列曝光参数（包括波长、波长精度和曝光时间），可以根据工作要求对结果进行微调。该资产还可以快速处理大型图像，曝光时间仅为0.3秒，分辨率高达0.15 µm。该模型还可以很容易地与其他光学系统集成，使其在大规模生产应用中非常有用。TOKYO ELECTRON Lithius的最先进的照明工艺利用了先进的光学，以及光斑大小、数值孔径、偏振等可编程的照明参数。这种特性的组合允许最佳的光刻图像，以及紧密，精确的线条和高质量，均匀的密度在产生的图样。设备的另一个关键功能是专有的PhotoStencil软件,它提供了广泛的模式分配和操作功能。该软件也是高度可定制的，可以很容易地针对各种应用进行定制。PhotoStencil软件还确保图像模式的精确定位和对齐,以及包括自动切口校正、多重曝光模拟和实时数据监控在内的多种附加功能。该系统还集成了几种软件解决方桉，允许用户在各种条件下模拟他们的曝光过程，使他们能够根据客户的需求更好地预测和优化流程。总体而言,Lithius Photoresist单元包含精密光学、光学集成、人体工程学设计、高级光刻技术和软件技术的组合,可为半导体器件生成极其精确可靠的图像。用户友好的特点、易于设置以及能够在几种不同的环境中操作,使机器成为现代半导体处理的理想解决方桉。