二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111800 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）开发的光阻设备。它是一种光刻系统，旨在为具有超细特性的半导体基板设计图样。它结合了同步高分辨率激光器（SHL）和独特的光学集成技术，实现了卓越的光阻处理和图像传输。SHRL是一种激光照明源，具有同时曝光和控制光强度、循环频率和曝光时间的功能。这种激光器能够产生10纳米以下的图样，这是任何光刻装置中最小的。该机还能够直接写入光刻，从而无需传统的校准和掩模层。TEL Lithius光致抗蚀剂工具还具有完全集成的光学技术,可在大范围内实现高精度成像,并具有出色的对比度和分辨率。它具有闭环控制资产,可确保每次曝光时都能获得可重复的结果。凭借其先进的特点，它提供了更高的材料利用率和改进的光刻耐久性。该模型还包括Image Director软件,该软件提供阵列层的平移、旋转和缩放,以完全控制设计过程。其他功能包括自动对焦以确保每个模式的精确聚焦,以及直接读出测量以轻松检查参数以优化过程。总体而言，TOKYO ELECTRON Lithius光刻设备是一种强大的光刻工具，内置在一个小的、易于使用的系统中。它具有先进的激光技术和高度集成的光学器件，允许用户以纳米级分辨率和特性实现卓越的图案性能。它是需要小尺寸特征和精确成像的应用程序的理想解决方桉。